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低温等离子分解油雾,废气等污染介质时,等离子体中的高能离子起作用.高能离子与介质内分子发生碰撞,将能量转化成基态分子的内能,发生激发,离解,电离等一系列过程使污染介质处于活化状态.由低温等离子引起的气体有机化学反应是在气相中进行的电离,离解,激发,原子分子间的相互结合及加成反应,这个能量足以使大多数气态有机物中的化学键发生断裂,从而使其降解.